Optiki dizaýnda ýarymgeçiriji meýdanynda köp sanly programma bar. Fotolitografiýa enjamynda optiki ulgam, ýagtylyk çeşmesinden çykýan ýagty şöhläni jemlemek we zynjyryň nagşyny açmak üçin kremniniň wafline gönükdirmek üçin jogapkärdir. Şonuň üçin fotolitografiýa ulgamynda optiki komponentleriň dizaýny we optimizasiýasy fotolitografiýa maşynynyň işini gowulandyrmagyň möhüm usulydyr. Aşakda fotolitografiýa maşynlarynda ulanylýan optiki komponentleriň käbiri bar:
Taslamanyň maksady
01 Proýeksiýanyň maksady, adatça, konweks linzalary, konkaw linzalary we prizmalary öz içine alýan linzalardan ybarat litografiýa maşynynyň esasy optiki komponentidir.
02 Onuň wezipesi, maska zynjyr nagşyny gysmak we fotorezist bilen örtülen wafli gönükdirmek.
03 Proýeksiýanyň maksadynyň takyklygy we ýerine ýetirilişi daşbasma enjamynyň çözgüdine we şekillendiriş hiline aýgytly täsir edýär.
Aýna
01 Aýnalarýagtylygyň ugruny üýtgetmek we dogry ýere ugrukdyrmak üçin ulanylýar.
02 EUV daşbasma maşynlarynda aýnalar aýratyn möhümdir, sebäbi EUV ýagtylygy materiallar aňsatlyk bilen siňýär, şonuň üçin ýokary şöhlelendiriji aýnalar ulanylmaly.
03 reflektoryň ýerüsti takyklygy we durnuklylygy daşbasma enjamynyň işine uly täsir edýär.
Süzgüçler
01 Süzgüçler, fotolitografiýa prosesiniň takyklygyny we hilini ýokarlandyrmak, ýagtylygyň islenmeýän tolkun uzynlyklaryny aýyrmak üçin ulanylýar.
02 Degişli süzgüji saýlamak bilen, diňe belli bir tolkun uzynlygynyň ýagtylygynyň daşbasma maşynyna girmegini üpjün edip, şeýlelik bilen daşbasma prosesiniň takyklygyny we durnuklylygyny ýokarlandyryp bolar.
Prizmalar we beýleki komponentler
Mundan başga-da, daşbasma enjamy belli bir daşbasma talaplaryny kanagatlandyrmak üçin prizma, polýarizator we ş.m. ýaly beýleki kömekçi optiki komponentleri hem ulanyp biler. Bu optiki komponentleri saýlamak, dizaýn etmek we öndürmek, daşbasma enjamynyň ýokary takyklygyny we netijeliligini üpjün etmek üçin degişli tehniki ülňüleri we talaplary berk berjaý etmelidir.
Gysgaça aýtsak, optiki komponentleriň daşbasma maşynlary pudagynda ulanylmagy daşbasma maşynlarynyň öndürijiligini we önümçilik netijeliligini ýokarlandyrmagy maksat edinýär we şeýlelik bilen mikroelektronika önümçiliginiň ösmegine goldaw berýär. Daşbasma tehnologiýasynyň yzygiderli ösmegi bilen optiki komponentleriň optimizasiýasy we täzeligi geljekki nesil çiplerini öndürmek üçin has uly mümkinçilik döreder.
Has giňişleýin maglumat we bilermenleriň maslahaty üçin web sahypamyza giriňhttps://www.jiujonoptics.com/önümlerimiz we çözgütlerimiz hakda has giňişleýin öwrenmek.
Iş wagty: -anwar-02-2025
