Optiki dizaýnyň tertipli meýdançasynda dürli programmalar bar. Fotolitofografiýa maşynynda ýagtylyk çeşmesi bilen meşgullanmak we ony ýakmak üçin kremeton waferine ünsi jemlemek jogapkärdir. Şonuň üçin fotolotensiýasynyň optiki bölekleri dizaýn etmek we optimizirlemek Fotolitofografiýanyň maşyn tehnisiniň önümleriniň önümçiligini gowulaşdyrmak iň möhüm usulydyr. Aşakda fotolitofografiýa maşynlarynda ulanylýan optiki komponentleriň käbiri:
Proýeksiýa obýektiwligi
01 Teklip maksady maksatly Bir konwaks linzalary, konkük linzalary, konçer izolýesleri we türmeler bilen bir toparlardan ybarat esasy otlukly maşyndan ybaratdyr.
02 Funksiýasy zynjyr nagşyny maska howlusyna kiçeltmek we potratçy bilen örtülen wadafire gönükdirmekdir.
03 Proýeksiýa obýektiwiniň takyklygy we ýerine ýetirilmegi, lithografiki enjamyň hiline aýgytly täsiri bar
Aýna
01 Aýnaýagtylygyň ugruny üýtgetmek we dogry ýere gönükdirmek üçin ulanylýar.
EUVW lith fabriginde, aýndarlar aýratyn möhümdir, sebäbi Euwerurlygy has giň repipip gelýän aýnalar ulanylmaly.
03 Ruhyeriň daşky takyklygy we durnuklylygy, lithografiýa enjamynyň ýerine ýetirilmegine uly täsir edýär.
Süzgüçler
01 silater, fotolitofrografiýa prosesiniň takyklygyny we hilini ýokarlandyrmak üçin ýagtylyk berilmeýän tolkun uzynlyklaryna) ulanylýar.
02 Toplumy ugrukdyryjy süzgüç saýlamak bilen, belli tolkunçynyň diňe ýagtylygynyň litafografiýasyna girýändigini, litfografiýa prosesiniň dogrylygy we durnuklylygy gowulaşdyrmak üçin üpjün edilip bilner.
Türmeler we beýleki komponentler
Mundan başga-da, lithografiýa pudynyň prismler, polýarizatorlar we ş.m. ýaly sargytlaryň ýa-da ş.m. ýaly beýleki goşun gyz däl optografiki komponentleri hem ulanyp biler. Bu optiki komponentleri saýlamak, dizaýn etmek we öndürmek, Lita enjamynyň ýokary takyklygyny we netijeliligini üpjün etmek üçin degişli tehniki ülňüleri we talaplary berk bermeli.
Gysgaça aýdylanda, litavograf Fratins meýdançasynyň öndürijilik netijesini ulanmak we önümçilik pudagynyň netijeliligini ulanmak, şeýlelik bilen mikroektorançylyk önümçilik pudagyny pudagynyň ösmegini goldaýandygy maksat edinýär. Litografiýa tehnologiýasynyň yzygiderli ösmegi bilen, optially komponentleriň optusalaşmagy we innowlasiýalary öndürmek üçin has uly potensialy bolar.
Has giňişleýin düşünişde we bilermenler barada has giňişleýin maglumat üçin web sahypamyza baryp görüňhttps://www.jiujonopts.com/Önümlerimiz we çözgisalarymyz barada has giňişleýin öwrenmek üçin.
Iberiş wagty: analy-02-2025
